計量(liang)(liang)技(ji)術中對工件加(jia)工面粗糙度的微觀幾(ji)何形狀(zhuang)特性的測量(liang)(liang)。比(bi)(bi)較常用的測量(liang)(liang)方法(fa)有比(bi)(bi)較法(fa)、觸(chu)針法(fa)、光切(qie)法(fa)和(he)干涉法(fa)等。

1. 比(bi)較法將表面(mian)粗(cu)糙度比(bi)較樣塊根據(ju)視覺(jue)和觸(chu)覺(jue)與被測表面(mian)比(bi)較，判斷(duan)被測表面(mian)粗(cu)糙度相當于那一數值，或(huo)測量其反(fan)射光(guang)強變化來評定表面(mian)粗(cu)糙度 ( 見激光測長技術 ) 。樣塊是一(yi)套具有平面(mian)(mian)或(huo)圓(yuan)柱表(biao)面(mian)(mian)的金屬塊，表(biao)面(mian)(mian)經(jing)磨、車、鏜(tang)、銑、刨(bao)等(deng)切削加(jia)工(gong)(gong)，電鑄或(huo)其他鑄造工(gong)(gong)藝等(deng)加(jia)工(gong)(gong)而具有不(bu)同的表(biao)面(mian)(mian)粗(cu)糙度(du)(du)。有時(shi)可直接從工(gong)(gong)件中(zhong)選出樣品經(jing)過測量并評定合格后作為樣塊。利用樣塊根據(ju)視覺和觸覺評定表(biao)面(mian)(mian)粗(cu)糙度(du)(du)的方法(fa)雖然(ran)簡便，但會受到主(zhu)觀因素(su)影響，不(bu)能得出準確的表(biao)面(mian)(mian)數值。

2. 觸針法利用針尖曲率(lv)半徑為 2 微米左右的(de)金剛(gang)石觸針(zhen)沿被(bei)測(ce)表(biao)(biao)(biao)(biao)面(mian)(mian)緩慢滑行(xing)，金剛(gang)石觸針(zhen)的(de)上(shang)下位移量(liang)(liang)由(you)電(dian)學式(shi)長度傳感器轉換為電(dian)信號，經(jing)放大、濾波、計算(suan)(suan)后由(you)顯示(shi)儀表(biao)(biao)(biao)(biao)指示(shi)出(chu)表(biao)(biao)(biao)(biao)面(mian)(mian)粗(cu)糙(cao)度數(shu)值，也可以用記錄器記錄被(bei)測(ce)截面(mian)(mian)輪(lun)(lun)廓(kuo)曲(qu)線(xian)。一般將僅能(neng)顯示(shi)表(biao)(biao)(biao)(biao)面(mian)(mian)粗(cu)糙(cao)度數(shu)值的(de)測(ce)量(liang)(liang)工(gong)具稱為表(biao)(biao)(biao)(biao)面(mian)(mian)粗(cu)糙(cao)度測(ce)量(liang)(liang)儀，同(tong)時能(neng)記錄表(biao)(biao)(biao)(biao)面(mian)(mian)輪(lun)(lun)廓(kuo)曲(qu)線(xian)的(de)稱為輪(lun)(lun)廓(kuo)儀，這兩種測(ce)量(liang)(liang)工(gong)具都有電(dian)子(zi)計算(suan)(suan)電(dian)路或電(dian)子(zi)計算(suan)(suan)機，它能(neng)自動計算(suan)(suan)出(chu)輪(lun)(lun)廓(kuo)算(suan)(suan)術(shu)平均偏差 Rα ，微(wei)觀不平度十點高(gao)度 RZ ，輪廓_高度(du) Ry 和其他多種評定參數，測量(liang)效(xiao)率高，適用于測量(liang) Rα 為 0.025 ～ 6.3 微米的表(biao)面(mian)粗糙度。

3. 光(guang)切法光(guang)線(xian)通過狹縫后形成(cheng)的(de)(de)光(guang)帶投射到被測(ce)表(biao)面(mian)上，以它(ta)與被測(ce)表(biao)面(mian)的(de)(de)交線(xian)所(suo)形成(cheng)的(de)(de)輪廓曲(qu)線(xian)來測(ce)量(liang)表(biao)面(mian)粗糙度。由(you)光(guang)源射出的(de)(de)光(guang)經(jing)聚光(guang)鏡、狹縫、物鏡 1 后，以 45° 的(de)傾斜(xie)角將狹(xia)縫投影到(dao)被(bei)測(ce)表(biao)面，形(xing)成被(bei)測(ce)表(biao)面的(de)截面輪廓(kuo)圖形(xing)，然(ran)后(hou)通過物鏡 2 將此(ci)圖形放大(da)后投射到分劃板(ban)上。利用測微目(mu)鏡和讀數鼓輪先讀出 h 值，計算后得(de)到 H 值。應用此法的表面粗糙(cao)度測量(liang)工具(ju)稱為(wei)光切顯(xian)微(wei)鏡。它適用于測量(liang) RZ 和 Ry 為 0.8 ～ 100 微米(mi)的表面粗糙(cao)度，需(xu)要人工取點(dian)，測量效率(lv)比較低。